北京科博会丨王娟：解锁高端质谱仪研发难题，助力半导体产业发展

顺义区融媒体中心消息  随着我国半导体产业快速发展，质谱仪作为芯片制造过程中的关键检测设备，其国产替代意义重大。北京莱伯泰科仪器股份有限公司（以下简称“莱伯泰科”）质谱研发部产品经理王娟带领团队迎难而上，破解高端质谱仪研发难题，为国产质谱仪的发展贡献了智慧与力量。

电感耦合等离子体质谱仪。

莱伯泰科是一家专业从事实验分析仪器研发、生产和销售的科技型公司，王娟现担任公司质谱研发部高级产品经理。她曾在多家跨国仪器公司从事质谱产品的技术支持、产品开发、行业方案制定等工作，具有丰富的质谱产品开发和应用工作经验。加入莱伯泰科4年多以来，王娟作为主要项目参与者，与团队成员一起攻关研发了单四极杆质谱、串联三重四极杆质谱等。

在2023年度中国检验检测学会科学技术奖获奖评选中，莱伯泰科凭借其《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》荣获科学技术进步奖二等奖，这一项目的带头人正是王娟。

过去，我国半导体行业中高端质谱仪完全依赖进口。王娟团队从2019年开始专攻电感耦合等离子体质谱的研发，历经艰辛终于成功推出LabMS 3000单四极杆电感耦合等离子体质谱仪。随后，团队又开展了电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪、电感耦合等离子体四极杆-飞行时间质谱仪的研发，并于2023年推出深度进军半导体行业的LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪，打破了国外公司在该市场一家独大的局面。

王娟（右）和团队成员沟通设计细节。

国产质谱仪能够与进口设备抗衡，关键在于自主创新。王娟团队在LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪的软硬件设计上进行了大胆突破，使其拥有了更高的灵敏度、更低的检出限和更快的分析速度。该产品符合SEMI S2认证，满足了半导体制程最高级别制造客户的要求。

谈及研发国产质谱仪的初心，王娟表示，团队怀揣着使命感，希望为国产半导体产业链自主可控尽一份力，在压力和迫切感之下，团队成员不断学习、提高自己的能力，与产品共同成长。

目前，莱伯泰科与国内头部晶圆企业建立了合作关系，计划将LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪辐射到半导体上下游产业单位。王娟表示，团队将针对行业特点开发湿电子化学品、实时在线晶圆中超痕量元素等分析方法，为半导体制程中的质量控制提供技术支撑，助力半导体行业发展。

王娟（右二）和团队成员讨论技术难点。

随着半导体行业对质谱检测需求的不断提升，国产质谱仪的市场规模也将持续扩大。王娟充满信心地说：“莱伯泰科质谱研发团队将继续加大研发投入，提升国产高端串联质谱仪器的性能，为半导体行业提供更全面、高效的解决方案，巩固国产质谱仪在高端检测领域的领先地位。” 

在莱伯泰科和王娟带领的质谱研发团队不懈努力下，国产质谱仪正逐渐引领行业发展，成为推动我国半导体产业发展不可或缺的力量。